전체 글1 Etch 공정, 더 깊게 미세하게 빠르게 반도체 8대 공정에서 가장 높은 난이도를 요구하는 공정 중 하나인 Etch(식각) 공정에 대해서 알아봅니다. 현재 세계적으로 메모리 반도체, 시스템 반도체들의 고효율, 고집적화의 경쟁이 이루어지고 있습니다. 이 과정에서 모든 단위 공정들의 난이도가 상승하고 있으며, 그중에서도 막질을 원하는 패턴으로 만들어주는 공정인 Etch 공정의 중요도가 매우 높아졌습니다.Dry Etch의 개념Etch 공정에는 기본적으로 Wet Etch와 Dry Etch가 있습니다. Wet Etch의 경우 반도체와 Display 산업 분야에서 다양하게 사용되고 있습니다. 다만 반도체 공정의 경우 Display 공정 다르게 많은 제품들이 nm 단위의 공정을 사용하게 되면서 등방성 Etch 특성이 강한 Wet Etch 공정의 비중이 줄.. 2024. 5. 6. 이전 1 다음
